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无尘车间非常可怕的静电危害

       在无尘车间中,由于静电的不良影响,会导致微粒污染,静电放电(ESD)以及设备故障等问题。现代的过滤技术可以防止绝大部分的外部粉尘进入洁净室。但是,在洁净室内部,粉尘依然会在工作人员,生产设备以及部分生产过程中产生。令人遗憾的是,通常这些粉尘源都会比较靠近产品。如果物体表面带了静电,由于静电吸引就会吸附在洁净室层流中传播的粉尘。亚微米级的尘粒会影响到高科技产品的质量,它们一旦被吸附,产品表面就很难清除。 

       静电放电也会产生电磁干扰(EMI)现象。这将会妨碍到产品设备(特别是基于微处理器的机器人技术)的正常工作。发生在某部分设备上的静电放电,也可能会影响到附近其他设备的运转,这样就很难找出问题出在什么地方。 一个全面的污染控制流程,必须将静电问题作为洁净室污染的一种类型,将其测量和处理纳入其中。 

        除了会使洁净室中的除尘变得更加困难外,静电还会带来其他的生产问题。未加控制的静电传导——静电放电——会直接对产品产生危害。危害到半导体、磁盘零部件、医疗设备以及多种类型的薄膜和涂层。 

       尘粒污染在半导体、磁盘驱动器和FPD产业中臭名昭著。它们会导致组件报废或者损害磁头和磁盘介质。一个平面显示器很可能因为单单一个带静电的尘粒而被破坏掉。对于医疗设备,带静电的尘粒在其质量上所带来的后果可能会更为严重。在医疗、制药、食品加工还有其他生命科学行业中,还必须考虑吸附在尘粒上的微生物的影响。 



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