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怎样保持和维护洁净室的洁净度?

对于洁净室的洁净度的维持和控制,除了硬件设备配合投资外,也需要良好的软件--管理制度来配合,方能维持良好的洁净度。半导体洁净室内的微污染来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。实验数据显示,作业人员进出洁净室时尘埃有显著的增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因,人是主要因素。即使人是蕞大的污染源,但洁净室总是需要有人操作的,那么该怎么办呢?

 一、作业人员之管理,在洁净室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依洁净室管理办法确实执行管理,而所有人员也均能配合实施,则污染源的产生可说已减少大半。

 二、进入洁净室之人员,必须要具备有达成高洁净度标准,并要维持蕞好状态的观念和规范:

1、进入洁净室的人员应严格要求执行人身净化制度、路线和顺序。退出洁净室时,必须按如上顺序、路线进行,不允许将洁净用品带门厅。

2、若有吹淋室,必须按规定进行吹淋后,方可进入洁净室内。同时,严格按照风淋室的规格和使用要求,控制每次进入风淋室风淋的人数,不允许正在风淋室强行关闭运行风机或电源。一般经过风淋,人身表面散发的灰尘粒子数减少40—60% 。

3、为不干扰室内的洁净气流型式,在作业区上流侧不应放置物品,回风口附近不要堆放物;送风孔板下不应堵塞和堆放物品,生产操作应在洁净工作台或气流的上游进行。
4、不允许将与生产无关的和容易产尘的物品带入洁净室内。
5、严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动。
6、进入洁净室前,个人物品须放入指定的柜子,去掉化妆和首饰,换上指定的洁净服、鞋。
7、戴帽时,应将头发全部遮住,鞋套应将裤脚下摆紧紧裹在鞋套。
8、脱洁净工作服时,要避免工作服触及地面、桌子与其它物品,一般要由下至上脱去工作服,并存放在柜内或挂在规定的处所。
9、退出洁净室时,在更衣区前不允许脱掉洁净工作服;脱去工作服后若再进入洁净室内,仍需按进入洁净室的规定顺序进行。
 三、作业人员进入洁净室数目以维持蕞小限度为原则(愈小愈好),并须依洁净室进出标准流程进出洁净室。退出洁净室时,可以不需要经过空气吹淋而进入更换区域。

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